螺桿真空泵冷卻凈化的目的是冷卻螺桿和泵體。在泵的運行期間，冷卻凈化要求給帶有壓縮熱的排放氣體降溫。
　　工藝氣體從進氣口吸入，被旋轉(zhuǎn)的螺桿壓縮并傳送到排氣口。過程中所產(chǎn)生的壓縮熱使工藝氣體溫度上升。工藝氣體上升的溫度需要使用冷卻凈化。通常冷卻凈化氣體為空氣，除非根據(jù)系統(tǒng)的其它氣體。同時，為了冷卻凈化在泵體上靠近排氣端的地方設(shè)置了接口。

　　清洗凈化是在停泵前清潔泵腔。在停泵前，關(guān)閉泵進氣管路上的主閥，注入氮氣，蒸汽或清潔空氣20到30分鐘，為了把粘性的工藝材料或工藝氣體從泵的內(nèi)表面上清理下來。

　　當(dāng)抽有腐蝕性的或有毒的氣體，或像樹脂一樣有粘性的材料時，本操作就顯得尤其重要。當(dāng)泵每次工藝過程結(jié)束后，關(guān)閉進氣口主閥，無負載運行真空泵10-20分鐘（干運行，清洗凈化）。螺桿真空泵是消除或清洗在抽氣過程中積聚在泵腔內(nèi)的工藝氣體或可凝性蒸汽。這些殘留在泵腔內(nèi)的工藝材料是導(dǎo)致泵重新起動時發(fā)生過載的罪魁禍首。

　　同樣，當(dāng)一段時間處于關(guān)閉狀態(tài)的泵重新開啟時，這些殘留的工藝材料會導(dǎo)致泵卡死或過載。在這種情況下，應(yīng)沖洗蒸汽注入泵腔后再起動螺桿真空泵。